


芯明天壓電宏微復合運動平臺 - 毫米行程、納米精度

壓電宏微復合臺(無移動臺面)

13mm千分尺行程
壓電行程可選25μm、100μm、250μm
納米至亞納米級分辨率
可選配傳感器
壓電宏微復合臺(配備移動臺面)

13mm千分尺行程
壓電行程可選25μm、100μm、250μm
納米至亞納米級分辨率
提供負載機械安裝接口
可選配傳感器


移動臺面參數

平直度:<3µm/13mm
導軌:交叉滾柱導軌
臺面尺寸:65mm×65mm

緊湊型壓電宏微復合臺

5mm千分尺粗調行程
0.2mm千分尺精調行程
18μm壓電行程
納米至亞納米級分辨率

